1 USER GUIDE TO THE MANUAL 1 1.1 Purpose, Availability and Use . . . . . . . . . . . . . . 1 1.2 Intended Audience . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 1.3 Numbering of Chapters, Pages and Instructions . . . . 2 1.4 Use of Signal Words and Symbols . . . . . . . . . . . 3 1.4.1 Signal Words . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1.4.2 Symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.5 Overview of Chapters . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.6 Patents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 1.7 Trademarks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 1.8 Conversion Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.8.1 Measurements . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.8.2 Temperatures . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 2 EXCIMER LASER FUNDAMENTALS 11 2.1 Excimer Laser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 2.1.1 The NovaTube® Innovation . . . . . . . . . 11 2.1.2 Optional Accessories . . . . . . . . . . . . 12 2.1.3 Denomination of Lasers According to ISO 11145 . . . . . . . . . . . 12 2.1.4 System Diagrams . . . . . . . . . . . . . . 13 2.2 Laser Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 2.3 Laser Tube . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 2.4 Thyratron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 2.5 Energy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 2.5.1 Energy Measurement . . . . . . . . . . . . 22 2.5.2 Energy Management . . . . . . . . . . . . 22 2.6 Lambda Safety Systems . . . . . . . . . . . . . . . 28 2.6.1 Monitoring Critical Modules by Watchdogs . 28 2.6.2 Selftest of the Data Ring . . . . . . . . . . 28 2.6.3 Interlocks . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 2.6.4 Housing Interlock Switch . . . . . . . . . . 29 2.6.5 Door Interlock Switch and Laser Warning Light . . . . . . . . . . 29 A0300COM.00 LAMBDA PHYSIK LASERTECHNIK - 03/00 TABLE OF CONTENTS - I
GUIA DO 1 USUÃRIO O MANUAL 11.1 Finalidade, disponibilidade e uso. 11.2 Público-alvo de. 21.3 Numeração de capÃtulos, páginas e instruções.... 21.4 Uso de sinal palavras e sÃmbolos.... 31.4.1 Sinal palavras. 31.4.2 Symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.5 Visão geral dos capÃtulos. 51.6 Patents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.7 Marcas manifestam . 81.8 Tabelas de conversão de. 91.8.1 Medições.... . 91.8.2 Temperaturas. 92 FUNDAMENTOS DE LASER EXCIMER 112.1 Excimer Laser... 112.1.1 O ® NovaTubeInovação.... . 112.1.2 Acessórios opcionais.... 122.1.3 Denominação de LasersDe acordo com ISO 11145.... 122.1.4 Sistema diagramas. 132.2 Laser controle... 172.3 Laser Tube . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192.4 Thyratron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 212.5 Energy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222.5.1 Medição de energia.... 222.5.2 Energia gestão.... 222.6 Lambda sistemas de segurança.... 282.6.1 Acompanhamento crÃticos módulos por cães de guarda. 282.6.2 Selftest do anel dados.... 282.6.3 Intertravamentos falão 292.6.4 Habitação do bloqueio do interruptor.... 292.6.5 Interruptor de bloqueio de portae a luz de aviso de Laser.... 29A0300COM.00LAMBDA PHYSIK LASERTECHNIK - 03/00 TABELA DE CONTEÚDOS - EU